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        特種氣體的分類與用途
        日期:2018/12/28  點擊:988 次

         

        特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,是隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展而發展起來的,也是我司核心發展方向之一。

        近年來,隨著下游應用領域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據不完全統計,現有單元特種氣體達 260 余種,特種氣體已成為高科技應用領域不可缺少的基本原材料。特種氣體從應用領域上分為:電子氣體、高純氣體、 標準氣體。

         

        名稱

        主要品種

        發展情況

        電子氣體

        1、氫化物:超純氨、硅烷、磷烷、砷烷、氫化銻

        2、氟化物:六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅

        3、碳氟化合物:四氟化碳、六氟乙烷等

        電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等工業生產不可缺少的基礎性材料,廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

         

        高純氣體

        N2、 O2、 H2、 He、 Ar、CO2 等,純度 5N99.999%

        高純氣體大多用于超大規模集成電路及分離器件、光電子等高科技領域。

         

        標準氣體

        1、單元標準氣體

        2、多元標準氣體:由兩種或兩種以上組分氣配制而成

        1、標準氣體是計量的基準物質,準確、均勻、穩定可靠是重要特征,具有建立測量的溯源性,保證測量結果準確一致,以及促進測量技術和質量監督工作發展的作用。

        2、標準氣基本滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求。

         

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